近日，中國(guó)芯片企業(yè)中芯國(guó)際宣布再次批量采購(gòu)廣東皓天檢測(cè)儀器有限公司的快速溫度變化試驗(yàn)箱，用于晶圓及成品芯片的可靠性測(cè)試環(huán)節(jié)。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的核心企業(yè)，中芯國(guó)際的重復(fù)采購(gòu)行為，不僅印證了廣皓天快速溫度變化試驗(yàn)箱國(guó)際品牌的穩(wěn)定性，更凸顯其在服務(wù)響應(yīng)速度上的突出優(yōu)勢(shì)，為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程注入強(qiáng)勁動(dòng)力。
半導(dǎo)體芯片制造中，溫度穩(wěn)定性直接決定芯片良率與可靠性。數(shù)據(jù)顯示，芯片在-40℃至125℃的溫變環(huán)境下，電學(xué)參數(shù)波動(dòng)可能導(dǎo)致30%以上的性能偏差，而快速溫度變化試驗(yàn)箱正是驗(yàn)證芯片溫變適應(yīng)性的核心裝備。此前中芯國(guó)際多采用進(jìn)口設(shè)備，但面臨服務(wù)響應(yīng)滯后、備件周期長(zhǎng)等問(wèn)題。隨著國(guó)產(chǎn)設(shè)備技術(shù)突破，廣皓天快速溫度變化試驗(yàn)箱憑借“穩(wěn)定性能+高效服務(wù)"的組合優(yōu)勢(shì)，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。
此次復(fù)采購(gòu)的廣皓天快速溫度變化試驗(yàn)箱，穩(wěn)定性已達(dá)國(guó)際水平。該設(shè)備溫度控制范圍覆蓋-70℃至180℃，升溫速率30℃/min、降溫速率20℃/min，匹配中芯國(guó)際28nm及以下制程的測(cè)試需求。其溫度波動(dòng)度控制在±0.3℃，均勻度±1℃，與日本愛(ài)斯佩克、德國(guó)偉思富奇等國(guó)際品牌持平。在中芯國(guó)際此前的實(shí)測(cè)中，該設(shè)備連續(xù)1000小時(shí)運(yùn)行，芯片溫變循環(huán)測(cè)試數(shù)據(jù)重復(fù)性達(dá)99.2%，遠(yuǎn)超行業(yè)平均標(biāo)準(zhǔn)。
“快速溫度變化試驗(yàn)箱的穩(wěn)定運(yùn)行與極速服務(wù)，為我們減少了大量產(chǎn)線損耗。"中芯國(guó)際設(shè)備采購(gòu)負(fù)責(zé)人表示，相比進(jìn)口品牌平均24小時(shí)的故障響應(yīng)時(shí)間，廣皓天實(shí)現(xiàn)1小時(shí)遠(yuǎn)程響應(yīng)、4小時(shí)現(xiàn)場(chǎng)支援，備件交付周期從15天縮短至3天。在一次28nm產(chǎn)線測(cè)試設(shè)備突發(fā)故障時(shí)，廣皓天工程師3小時(shí)內(nèi)抵達(dá)現(xiàn)場(chǎng)完成修復(fù)，避免了超千萬(wàn)元的產(chǎn)能損失。設(shè)備搭載的智能預(yù)警系統(tǒng)，還能提前預(yù)判潛在故障，將停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)降低60%。
除核心性能外，該快速溫度變化試驗(yàn)箱還支持與中芯國(guó)際現(xiàn)有檢測(cè)系統(tǒng)無(wú)縫對(duì)接，可自動(dòng)生成符合SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試報(bào)告，數(shù)據(jù)互通效率提升40%。廣皓天還組建了半導(dǎo)體專(zhuān)項(xiàng)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，提供定制化校準(zhǔn)方案，針對(duì)中芯國(guó)際不同制程需求優(yōu)化溫變曲線參數(shù)。此次復(fù)采購(gòu)訂單規(guī)模超千萬(wàn)元，將用于中芯國(guó)際上海、北京基地的新增產(chǎn)線。
業(yè)內(nèi)專(zhuān)家指出，中芯國(guó)際的復(fù)采購(gòu)標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)快速溫度變化試驗(yàn)箱已突破市場(chǎng)壁壘。當(dāng)前我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率穩(wěn)步提升，廣皓天這類(lèi)企業(yè)通過(guò)性能對(duì)標(biāo)國(guó)際、服務(wù)貼近需求，正加速替代進(jìn)口設(shè)備。此次合作不僅為中芯國(guó)際筑牢芯片質(zhì)量防線，更為半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化提供了可復(fù)制的“性能+服務(wù)"雙優(yōu)模式，助力我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈安全升級(jí)。
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